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丰田合成成功研制6英寸氮化镓衬底 [复制链接]

zzs1808 2022-3-21 15:56:26
据外媒报道,在日本环境省牵头的一个科研项目中,丰田合成与大阪大学合作制备出6英寸高质量GaN(氮化镓)衬底。
  
  据称,丰田合成依托其过往研究经验,开发出一种钠与镓在液态状态下生长氮化镓单晶的方法。
  
  上述机构接下来将对6英寸衬底的批量生产进行评估,并将尝试进一步增加晶圆尺寸。
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